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ACサーボアクチュエータ A032

ACサーボアクチュエータ A032
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概　要

ACサーボドライバユニットSP-152に接続され、主にEPC装置に使用されています。 直動型電動アクチュエータは、減速機構部とボールねじが一体構造となり、ガタを極力抑えた構造となっています。

特　長

  • 高精度で制御速度が速い

  • ACサーボモータ（ブラシレス）なので、クリーン環境に対応可能

仕　様

型式A032-80-20A032-150-20
ストローク（mm） 80 150
スピード（mm/s） 22.5（記） 22.5（記）
推力（kN） 0.3 0.3
質量（kg） 3.2 3.7
使用周囲温度 0～+40℃
使用周囲湿度 30～80％RH（結露不可）
保護構造 屋内型
モータ出力（W） 50
（記）スピードは無負荷時を示す。

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