コンタミネーション解析システム ルーゼックス®ＳＥ

概　要

フィルタ・コンタミ解析

フィルタ上に捕集されたコンタミネーション粒子の数・サイズ・形状を計測し、画像による分析を行います。

特　長

• 堅実・安定した計測

  照明等による測定値のバラつきを最小限に抑え、安定した測定が可能です。

• 各種規格に対応

  ＮＡＳ，ＩＳＯ１６２３２等、各種規格による結果出力が可能です。

解析イメージ

各種機能

お問い合わせ

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